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德国肖特助力中国光刻,于分毫间雕刻未来

快讯·智能界网2个月前

肖特打造立体式布局,全方位助推光刻行业发展

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每天睁开眼,我们就开启了与这个信息时代打交道的生活。从微波炉到洗衣机,从电动车到汽车,从手机到电脑,以芯片为基础的各种电子产品充斥着生活的方方面面。

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然而2020年一场席卷全球的芯片短缺危机,导致汽车、手机、PC显卡等行业芯片严重供不应求,芯片价格也随之上涨。部分企业甚至短暂停工,危机感迎面而来。

在中国,“十四五”规划将第三代半导体材料等视为重中之重,国家将在教育、科研、开发、融资、应用等方面,大力支持发展第三代半导体产业,解决半导体产业链关键环节“卡脖子”问题,以期实现产业快速发展。

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背靠政策支撑,中国对于制造芯片的母机 —— 光刻机的需求也逐渐扩大。根据中国海关步进式光刻机进口情况显示, 2020年尽管新冠疫情爆发给各行各业造成一定影响,但我国步进式光刻机市场增长依然明显。

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2019、2020年1-12月步进式光刻机进口量逐月数据图(单位:台)

(数据来源:中国海关、三胜咨询)

助力光刻,肖特三箭齐发

德国积极响应中国发展第三代半导体行业号召,通过从产品到解决方案的立体式布局,全力助推中国光刻行业发展,提供:

1.基于玻璃光纤的光传输解决方案

2.用于结构部件的零度®微晶玻璃

3.具有365纳米紫外线高透射率的i-line玻璃

1.基于玻璃光纤的光传输解决方案

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光刻系统的关键特性在于针对镜头将晶圆进行快速、精确和可重复的定位,而肖特柔性导光束则是实现精确定位的理想选择。稳定、可靠、精准,是肖特打造柔性导光束非凡口碑的配方。

稳定方能取胜

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肖特光导提供了高质量的光学参数组合,实现了高度稳定的光质量和强度,从而能够帮助客户提高产量。

可靠打造效率

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肖特的光导管具有良好的机械性能和化学性能,易于集成到系统中,并且具有很长的使用寿命。能够有效降低客户使用时的故障率,从而提供生产效率。

精确成就口碑

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FMEA过程分析确保生产过程稳定,肖特会跟踪所有相关的生产参数以实现可溯性和透明性,此外具有丰富经验的工程师也能确保提供极高的精度。

2.肖特零度®(SCHOTT ZERODUR®)微晶玻璃

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肖特零度®是一种低热膨胀微晶玻璃,常常被用于光刻机等对精度有着极为苛刻的要求的应用当中。

挑战严苛

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肖特零度®(SCHOTT ZERODUR®)微晶玻璃有着接近于零的热膨胀率,能够减少材料在几何形状和大小方面的变化,实现0±7ppb/K的精度。并且肖特零度®微晶玻璃可根据客户实际的工作点(温度)对热膨胀曲线进行调整。

放开想象

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复杂、轻质的零度®微晶玻璃零件

零度®微晶玻璃具有着非凡的可加工性能,可以根据客户的需求,通过CNC磨削加工成各种尺寸和形状,也可通过光刻实现精细结构的图案化,涵盖从i-line到KrF和ArF步进器到EUV光刻的整个技术范围。

堪称完美

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即使对于大型零件(可达4.25米及更高),零度®的CTE 均匀性也非常出色。肖特通过先进的研磨和抛光使粗糙度低于几纳米,从而获得非凡基材。

3.肖特i-line玻璃

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肖特i-line玻璃是以代号为i的紫外汞谱线命名的光学玻璃类型,既可提供365纳米紫外线高透射率,又可确保高折射率均匀性。这些玻璃(如N-BK7HTi、FK5HTi、LF5HTi 和LLF1HTi)既可以定制形状也可以按客户要求提供成品元件。

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i-Line玻璃通常适用于光刻应用,例如i-line步进机和晶圆扫描仪。

各行业领头企业的信赖之选

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“由于肖特稳定的结构和规模,即使在充满挑战的时期,肖特也能承受市场波动,大量的资源允许我们对市场变化做出快速反应。正是因为可靠,肖特赢得了诸多行业内头部企业的信赖。”

—— Kevin Zhang,

肖特光学成像事业部

布局光刻机,德国肖特可为合作伙伴提供全方位的支持,从具体应用产品到可定制化的解决方案,肖特助力合作伙伴一同探索光刻机的奥秘,于分毫间雕刻未来。

   
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